紫外波段鍍膜（紫外波段）

紫外波段目前被主要應用于半導體行業，Auxcer（上海陶藤電子科技有限公司）緊跟國家半導體行業發展，基于公司創始團隊在研究所及外企工作時的技術積累，我們可以為客戶提供193nm（R>97.5%）,254nm,355nm的紫外誘導濾光片，紫外增透膜，紫外反射鏡等產品，同時上海陶藤從未停止創新的止步,2024年上海陶藤開發出基于Mo/Si的13.5nm平面反射鏡產品。

超窄帶濾光片?（可見光或近紅外波段）

超窄帶濾光片目前被主要應用于窄線寬激光器和一些光譜分析檢測產品上，Auxcera（上海陶藤電子科技有限公司）在超窄帶光學鍍膜濾光片產品的研發上有悠久的歷史，基于我們先進的技術，成熟的經驗，以及kk可以實現超精密鍍膜的離子束濺射鍍膜設備，我們在1550nm 1064nm波段大批量量產帶寬 1mm 0.4nm 0.3nm的產品。

半導體金屬或氧化物薄膜沉積（單層金屬膜或氧化物）

我們擁有半導體金屬膜層鍍膜平臺，基于先進的鍍膜設備及工藝，我們可以采用磁控濺射鍍膜方式，在2-12寸的金剛石，碳化硅，藍寶石，玻璃，硅等晶圓以及陶瓷上沉積金，銀，銅，鋁，鈦，鎳，鉻，鉑等多種金屬膜層的制備。

高能激光薄膜（可見光和近紅外波段）

我們擁有多尺寸高功率低吸收激光薄膜研制平臺，實現了高性能高損傷閾值復雜激光薄膜的制備能力，依托行業內領先的大功率激光系統鍍膜生產經驗，最大能夠制備直徑可達500mm、常規有效鍍膜通光口徑＞95%（可根據要求滿鍍），均勻性優于±0.5%的光學薄膜，具有抗激光損傷閾值高，膜層吸收低，耐環境特性好的薄層特點， 目前多膜層激光薄膜表面吸收可達2ppm，溫升為5℃左右，滿足相關大功率激光系統發展的薄膜需求。

醫療儀器類濾光片（可見光波段）

我們擁有儀器及生物醫療用高難度濾光片研制平臺，實現了高OD值長短波通濾光片，超陡濾光片，超窄帶濾光片，多通道窄帶濾光片及多通道二向色濾光片的研制，為國內醫療器械行業的發展提供支持。

激光晶體鍍膜（晶體鍍膜）

使用高純金屬Hf和高純SiO2做為鍍膜材料，所制備的薄膜的吸收＜2.7ppm，0°激光薄膜反射率測試R＞99.97%，透過率T＞99.8%，適合高功率激光器等穩定性要求高的光學器件。我們針對多種晶體均有成熟的鍍膜經驗，比如：Nd YAG,Yb YAG(碟式激光器)等。

薄膜沉積方式	鍍膜波段
● 真空蒸發鍍膜技術	● 193nm-12um
● 磁控濺射鍍膜技術
● 離子束濺射鍍膜技術
● 原子層沉積鍍膜技術(ALD)
● 等離子增強化學氣相沉積技術（PECVD）
● 低壓化學氣相沉積技術（LPCVD）

鍍膜設備
● Vecco Spector	● Optorun OTFC 1550*10 units
● Leybold Heliso 1200	● Optorun ALDER 1100
● Leybold Syrus Pro	● Denton 635
● Optorun Spoc	● Intlvac

檢測設備
● Aglient Cary 7000	● ZYGO MST 12
● Semilab SE2000	● Bruker GTK
● Dimension EDGE	● Bruker UMT TriboLab

可沉積材料
金屬材料:Au/Ag/Cu/Al/Cr/Ti/Ni/Pt/Mo/Al
非金屬材料：
Sio2/ITO/TiO2/HfO2/ZrO2/Ta2O3/ZnO/Ga2O3/NIO/CeO/Al2O3/ZnO/Ta2O5/Ti3O5/MgF2/SiN/Alpha-Si/AlN/MgO/TiN /AlN