原子層沉積鍍膜設備

品牌：Beneq

型號：TFS-500

功能：TFS 500可處理多種類型的基板；芯片、平面物體、顆粒和多孔體材料，以及具有高縱橫比特征的復雜3D物體。它還可以配備手動操作的裝載鎖，以提高芯片處理能力。不同類型的反應室可以很容易地安裝在真空室內，從而可以針對每個客戶應用優化每個反應室。