高精度面型測量

干涉儀

品牌：ZYGO

型號：Verifire MST 

功能：主要用于精密測量各種平面和球面的反射面和光學系統的表面面形、光學系統的傳輸波前、棱鏡等的楔角測試以及材料均勻性測試與分析。使用氦氖激光（633nm），采用斐索型移相式，在線測量測量光束直徑為52mm(6")。標準鏡精度為1/20波長，CCD分辨率可達1000*1000，RMS簡單重復<0.06nm。

面型是光學鏡片非常重要的參數，通過使用Zygo MST 12干涉儀，可實現對各種尺寸鏡片表面面型等參數的測量，用于對薄膜面型、鏡片鍍膜前后面型變化等特性進行分析。 通過對材料與工藝的合理利用，可以實現鍍膜前后面型變化較小，保證光學元器件面型要求。