上海陶藤提供采用離子束濺射Mo/Si EUV波段反射鏡，我們采用離子束濺射設備生產EUV反射鏡，測試角度為6度，反射率大于60%，目前我們倉庫有4片庫存 ，其對應的反射率如下圖所示。
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現有庫存 6寸 8寸
上海陶藤電子科技有限公司
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